無(wú)油旋渦真空泵的渦旋盤就是一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋形成渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了無(wú)油旋渦真空泵的基本抽氣單元。動(dòng)渦旋盤由偏心軸驅(qū)動(dòng)與靜渦旋盤做相對(duì)擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。

無(wú)油旋渦真空泵具有下述特點(diǎn)：

一、無(wú)油，無(wú)摩擦、非接觸、無(wú)磨損且不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空。

二、抽氣量大：雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源。

三、抽氣效率高：帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差?。淮髿馀c真空之間由0型圈密封，泄漏低。

四、非接觸，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動(dòng)小。

五、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)。

六、體積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低。

七、采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。

了解了它的工作原理與特點(diǎn)之后，我們來(lái)看看它的應(yīng)用領(lǐng)域：

①半導(dǎo)體行業(yè)：薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；

②科學(xué)儀器行業(yè)：同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；

③機(jī)械設(shè)備行業(yè)：材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備；

④化學(xué)工業(yè)；

⑤醫(yī)療設(shè)備：牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；

⑥包裝行業(yè)：食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

無(wú)油旋渦真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問(wèn)題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。
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